承办单位：
IICIE国际集成电路创新博览会（IC创新博览会）
作为半导体生产的“能源中枢”与“环境管家”，厂务系统承担着工厂近60%的能耗与80%的水资源消耗，其绿色化转型的深度与广度，直接关联着半导体产业链的可持续发展能力与全球碳足迹承诺的兑现。半导体工厂通过技术和管理手段，实现能耗降低、污染减排、资源循环、厂房安全运营，以减少半导体制造高耗能、高耗水特性对环境影响的综合解决方案。
| 时间 | 演讲题目 | 演讲嘉宾 |
|---|---|---|
| 10:00-10:05 | 会议开场 | |
| 10:05-10:25 | 某12吋晶圆项目设计要点分享 | 陈炜宁 中国电子系统工程第二建设有限公司 华南大区副院长 |
| 10:25-10:45 | 半导体厂房能耗区间及经济指标的建议 | 王建刚 武汉华康世纪洁净科技股份有限公司 技术总监 |
| 10:45-11:05 | 半导体厂务通风系统低碳降耗与精准控风方案 | 王成鹏 致和半导体设备（江苏）有限公司 研发总监 |
| 11:05-11:25 | 电子级超纯水技术 | 刘婷婷 莱特莱德（上海）技术有限公司 副总经理 |
| 11:25-11:45 | 节能降耗 —— 美开深控大系统方案介绍 | 马云 南京美开深控科技有限公司 能源管理事业部-高级总监 |
中国电子系统工程第二建设有限公司 华南大区副院长
武汉华康世纪洁净科技股份有限公司 技术总监
致和半导体设备（江苏）有限公司 研发总监
南京美开深控科技有限公司 能源管理事业部-高级总监
